{지올 주사전자현미경 JSM-IT700HR/LA}

지올(JEOL Ltd.)(도쿄증권거래소:6951)(사장 겸 최고운영책임자: 오이 이즈미[Izumi Oi])이 새로운 주사전자현미경(SEM) ‘JSM-IT700HR’을 2020년 8월에 출시한다고 발표했다.

개발 배경

SEM은 나노 기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의약, 생물학 등 다양한 분야에서 사용된다. 또 SEM 애플리케이션은 기초 연구뿐 아니라 품질 제어까지 그 영역을 넓히고 있다. 그만큼 고품질 SEM 이미지 데이터를 더 빠르게 수집하고 구성 정보를 더 쉽게 확인할 수 있는 SEM에 대한 수요가 늘고 있다.

JSM-IT700HR은 수상 경력에 빛나는 전작 ‘인터치스코프(InTouchScope™)’를 기반으로 ‘인렌즈 쇼트키 전계방출 전자총(in-lens Schottky FEG)’을 통합해 일반 연구실에서 일상적으로 수행하는 소형화 물질의 관찰 및 분석에 적합한 제품이다.

JSM-IT700HR은 해상도가 1nm로 높으며 최대 프로브 전류는 전작 대비 15배가량 높은 300nA이기 때문에 다양한 정보를 관찰·분석할 수 있다. 또 조작이 간편한 사용자 인터페이스와 대형 시료실에 적합한 콤팩트한 디자인, 메인 콘솔 진동 방지 기능 등을 가미해 전보다 훨씬 더 수월한 관찰 및 분석이 가능하다.

JSM-IT700HR은 ‘조작 간편성’을 높이기 위해 특성 X선 생성 깊이를 보여주는 새로운 기능을 SEM GUI에 통합했다. 이 기능을 활용하면 시료의 분석 깊이(레퍼런스)를 한 눈에 이해할 수 있어 원소 분석 시 상당히 유용하다.

JSM-IT700HR은 2개 제품으로 이용 가능하다. JSM-IT700HR/LV는 고·저진공 이미지 분석용이며 JSM-IT700HR/LA는 표준 X선 분광기(EDS) 시스템에 추가 통합했다.

특징

1. 인렌즈 쇼트키 전계 방출 전자총을 통합해 고화질 이미지를 고공간 해상도로 관찰·분석할 수 있다.
2. 홀더 그래픽(Holder Graphic)과 CCD, SEM 이미지를 링크하는 제로맥(Zeromag) 기능이 가미돼 있어 시료 분석이 훨씬 용이하다.
3. 라이브 분석 기능인 ‘분석 시리즈(Analytical series)’가 접목된 임베디드 EDS 시스템이 이미지 관찰 시 EDS 스펙트럼을 실시간으로 보여주기 때문에 효율적인 원소 분석이 가능하다.
4. 분석 깊이(특성 X선 생성 깊이)를 보여주는 새로운 기능 덕분에 빠른 원소 분석이 가능하다.
5. ‘스마일 뷰 랩(SMILE VIEW™ Lab)’을 활용해 SEM 이미지부터 원소 분석 결과에 이르는 모든 데이터를 보고서로 만들 수 있다.
6. ‘시료 교환 네비(Specimen Exchange Navi)’를 활용해 시료를 안전하고 간단하게 교환할 수 있다.
7. ‘오토 빔 설정(Auto Beam Alignment)’ 기능을 활용해 전자 광학을 최적의 상태로 유지할 수 있다.
8. ‘드로아웃 교환 시스템(Drawout exchange system)’을 활용해 다양한 크기와 유형의 시료를 수용하는 대형 시료실에 쉽게 접근할 수 있다.